低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
 

　　低溫等離子體在外加電場的作用下，介質放電產生的大量電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體，轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變為無毒無害或低毒低害物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在1eV - 10eV，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。
 

　　等離子體分解破壞揮發性有機污染物的兩種途徑如下
 

　　(1)高能級電子直接作用于污染物分子：
 

　　e + 污染物分子 —— 各種碎片分子
 

　　(2)高能級電子間接作用于污染物分子：
 

　　e +O2 (N2,H20) ——2O(N,N*,OH) +污染物分子 ——中性分子
 

　　從以上反應過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到污染物分子中去，那些獲得能量的污染物分子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。然后這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。
 

　　低溫等離子凈化設備可廣泛應用于石油化工、制藥、食品、污水處理廠、涂料、皮革加工、感光材料、汽車制造等諸多行業有機廢氣的治理以及采用其它方法很難解決的廢氣的治理。低溫等離子凈化設備技術，工藝簡潔：開機后，即自行運轉，受工況限制非常少，無需專人操作，除臭率可達99%。 節能：無機械設備，空氣阻力小，耗電量約為0.003kw/m3廢氣。 適應工況范圍寬：設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，不受氣溫的影響。在250℃以下和在霧態工況環境中均可正常運轉。-50℃至+50℃的環境溫度仍可正常運轉。 設備使用壽命長：本設備由不銹鋼材，銅材、鉬材、環氧樹脂等材料組成，抗氧化，采用防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設備腐蝕問題。 結構簡單：只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。 無機械設備：故障率低，維修容易。 應用范圍廣：介質阻擋放電產生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以將所有的異味氣體分子降解。