大型等離子凈化設備等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場+電子→高能電子
(2) 高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
大型等離子凈化設備使用注意事項：
1、條件滿足的情況下，UV光解凈化的凈化效率可達到99.9%以上。
2、惡臭物質能否被裂解，取決于其化學鍵鍵能是否比所提供的UV光子的能量要低。
3、提供的UV光子總功率不夠或者含氧量不足，會因為裂解或氧化不*而生成一些中間副產物，從而影響凈化效率。對于高濃度大分子的有機惡臭物質體現得較為明顯。
4、裂解反應的時間極短(<0.01s)，氧化反應(見反應④)的時間需2-3s。
5、UV光解凈化的長期穩定、高效，需要反應溫度<70℃，粉塵量<100mg/m3，相對濕度<99%。
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